VARICLEAN benelux bv / DE STAR 23G, 1601 MH ENKHUIZEN
TEL +31(0)228 325707 FAX +31(0)228 325945 E-MAIL INFO@VARICLEAN.NL

Megasonic reinigen

Megasonic staat voor technologie om deeltjes van zeer gevoelige microstructuren te verwijderen die in het micro en/of nano bereik liggen. Typische toepassingen zijn er te vinden in de LIGA technologie, bij de productie van semi-conductor wafers, solar cellen, opto-electronica, LCD’s, substraten en MEMS (Micro Electro Mechanical Systems).

De beschikbare frequenties liggen op 470 kHz en 1 MHz. Afhankelijk van de gekozen frequentie zijn er modulaire generatoren leverbaar met een vermogen vanaf 200W en oplopend tot een 2 kW uitvoering. De Megasonic elementen kunnen worden bevestigd onder een bad van Quartzglas, Teflon of een hoogwaardig afgewerkt RVS bad. Tevens is het mogelijk deze PZT elementen te verwerken in een vloeistofdichte behuizing, ook wel Array genoemd.

De MEGASONIC sweeping® generatoren zijn uitgerust met een sweep functie om een homogene verdeling van de Megasonic energie in het bad te verkrijgen waardoor de contacttijden zo kort mogelijk blijven. Hot spots worden hierdoor vermeden zodat er geen beschadigingen optreden op kritische delen en er is een aanzienlijke reductie van schaduwwerkingen.

ULTRASOON REINIGENLEES VERDER

Megasonic met sweep

Een sweep met een bepaalde snelheid zorgt ervoor dat elke PZT valt af te stemmen op zijn optimale natuurlijke resonantiefrequentie. De geproduceerde Megasonic energie wordt homogeen verdeeld in het gehele bad. De reiniging wordt geoptimaliseerd waardoor het proces sneller verloopt en daardoor een grotere capaciteit heeft. De reinigingstijd kan worden verkort waardoor een eventuele nadelige invloed op gevoelige onderdelen of op de producteigenschappen worden vermeden.


Megasonic zonder sweep

Zonder sweep en een PZT met een frequentie die het dichtst bij de Megasonic generator frequentie ligt, zal een staande golf veroorzaken en er zal een fontein effect ontstaan. Het vermogen dat door de snelle toename ontstaat veroorzaakt hot-spots die gevoelige delen kan beschadigen. De elektrische energie wordt niet gelijkmatig verdeeld over de aanwezige PZT-elementen zodat voor elke staande golf een andere PZT onvoldoende stroom krijgt en het proces dermate wordt verstoort dat dit geen reproduceerbare resultaten oplevert.